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用于真空的準分子紫外線系統(tǒng)介紹
2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子
易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口。
通過使用風冷準分子燈的簡單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了低成本和高性能。 可以瞬時打開和關(guān)閉。
真空室等靜電問題的對策
卷對卷薄膜抗靜電
晶圓等靜電卡盤的吸附和運輸措施
防止因電氣化而吸附異物的對策
電子顯微鏡的靜電對策
通過帶電實現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔
| 波長 | 172 納米 |
| 真空法蘭端口 | ICF114 （兼容JIS法蘭） |
| 冷卻方式 | 風冷 |
| 功能 | 燈亮起、熄滅 |
| 光源尺寸 | 寬 300 x 高 157 x 深 180 mm |
| 電源尺寸 | 寬 250 x 高 133 x 深 200 mm |
| 權(quán)力 | AC100V 50/60Hz 2A 帶接地端子 |
| 氣 | N2 |
| 電纜長度（燈~電源） | 0，5 米 |
| 環(huán)境規(guī)格 | 溫度15-30°C，濕度20-80%，無冷凝、腐蝕、振動的環(huán)境條件。 |
